該設備可選擇單設定點或30段可編程控制器。節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層結構，可將外表溫度降到常溫。均溫區(qū)長，操作簡便，密封可靠，綜合性能指標較高，處于國內*水平。爐管可選擇配置耐熱鋼、石英玻璃、陶瓷管等材料。

 

　　產品用途：

　　主要應用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室，如：薄膜沉積，可在真空、不同氣氛、空氣不同環(huán)境下，對樣品進行快速熱處理，不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。

　　結構與配置：

　　該爐型具由我公司專業(yè)化設計制造的保溫層，采用業(yè)內高標準的高純陶瓷纖維高壓模塊，組成全纖維保溫爐襯。RTP快速退火爐的發(fā)熱元件從材質到設計經過嚴格質量控制，能夠極大提高加熱效率，快速完成退火熱處理工藝。在節(jié)能節(jié)電方面的優(yōu)勢更加突出，微電腦程序控制整個退火工藝過程，實時自動化計算退火工藝所需的功率，同比節(jié)能節(jié)電30-50%。

 

　　此爐適用于下列工作條件：

　　1、環(huán)境溫度在-10～75℃之間。

　　2、周圍環(huán)境的相對濕度不超過85%。

　　3、爐子周圍沒有導電塵埃，爆炸性氣體及嚴重破壞金屬和絕緣材料的腐蝕性氣體。

　　4、沒有明顯的傾斜﹑振動和顛簸。

 

　　產品特點：

　　1、可測大尺寸樣品：可測單晶片樣品的Zui大尺寸為4英寸（100mm）。

　　2、快速控溫與高真空：Zui高升溫速率可達100℃/s，真空度Zui高可達到10Pa。

　　3、程序設定與氣路擴展：Zui多可創(chuàng)建和存儲32個程序、8個PID設定，實現不同溫度段的精確測試。Zui多可擴展至4條工藝氣路（MFC），應用不同氣氛環(huán)境（真空、氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣體等）。

　　4、全自動智能控制：采用全自動智能控制，包括溫度、時間、氣體流量、真空、氣氛、冷卻水等均可實現自動控制。

　　5、超高安全系數：采用爐門安全溫度開啟保護、溫控器開啟權限保護以及設備急停安全保護三重安全措施，全面保障儀器使用安全。